上海金桥，打造世界级集成电路装备新高地！

近日，第二十六届中国国际工业博览会·集成电路展（国芯展，ICES）在国家会展中心（上海）开幕。偌大的展区中，最大的参展主体不是哪家公司，而是一座“小镇”。近500平方米的展位，20多家企业整编成团：刻蚀机、清洗机、量检测设备，真空阀门、探针卡、精密运动平台、流体控制部件……一镇之力，把一整条产业链搬进了展馆。

它叫金桥装备小镇，坐落于浦东金桥南区——龙东大道、华东路、华夏路、川沙路四条道路合围，圈出约4平方公里的产业空间。

这个“小镇”甫一亮相，就吸引了业界的高度关注。它有何来历？凭什么短短两年，就能聚起一条完整的产业链？答案，要从三十多年前的一项国家工程说起。

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一条产线，孕育出产业基因

20世纪90年代，国内集成电路绝大部分依靠进口，自主先进生产线近乎空白。为培育和加快微电子产业自主化建设，国家部署实施“909”工程。承担者华虹微电子于1996年4月成立，第一任董事长由时任电子工业部部长胡启立出任。

国家为什么把“909”落在金桥？那是因为这片土地接得住。

金桥装备小镇所在的区域，最早可以追溯到王桥工业区。早从20世纪60年代就办起喷漆、变压器等社队工业；1984年村办企业总产值已达62万元。1990年9月，国务院批准设立金桥出口加工区——全国第一个以“出口加工区”命名的国家级开发区；1992年，上海贝尔在金桥奠基，此后建成全球规模最大的程控交换机生产基地；1997年，上汽通用落户金桥。

1999年9月，中国大陆第一条8英寸集成电路生产线在这里贯通。上海华虹NEC电子有限公司正式投产，比计划提前7个月，当年投产即盈利。这条生产线的意义不止于产出芯片：随产线运行，对设备、材料和零部件形成持续需求，也培养、聚集了一批集成电路制造人才。

历史的齿轮继续向前。2004年，60岁的尹志尧带领15位硅谷专家落户金桥创办中微公司，2007年首台双反应台刻蚀机交付，在多轮国际诉讼中全部胜诉。同期，王淑敏创立安集科技，从化学机械抛光液起步，把研磨液做到国内领先、跻身全球前列。2019年，中微公司、安集科技成为科创板首批上市企业。

同样在金桥成长、并把新总部落在装备小镇的，还有一批深耕核心零部件的企业。2019年，隐冠半导体由复旦大学杨晓峰教授和行业资深工程专家吴立伟创立，落地浦东金桥，专注精密运动系统等关键零部件，产品已批量进入国内头部晶圆厂。2026年，公司递交科创板招股书，并将在金桥装备小镇建设总部基地。

从一条生产线，到上下游互为场景的一批企业和人才，集成电路在金桥扎下根，成为这里的产业基因，也为此后装备小镇的建设奠定了基础。

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一座小镇，承载起时代使命

近年来，以人工智能为代表的新一轮科技革命加速演进。AI大模型的训练与推理，对高性能计算芯片、高带宽存储的需求持续攀升，推动全球晶圆厂加速扩产。据国际半导体产业协会（SEMI）预测，2026年全球半导体制造设备销售额将达1659亿美元、同比增长约两成，并有望连续五年增长。需求井喷之下，全球装备及核心零部件供应趋于紧张，部分关键零部件交货周期明显拉长。

集成电路制造装备是集成电路产业的基石，而整机的精度与可靠性，最终取决于其内部的核心零部件。一只阀门、一张探针卡、一套运动平台，这些看似不起眼的核心零部件，直接决定装备的性能上限，却是产业链中技术壁垒极高、客户认证周期极长的环节。

“装备零部件，是整条半导体产业链中技术壁垒最高、最卡脖子、最难啃的硬骨头。但自主可控，必须跨过这一关。”金桥管理局副局长庄勇在接受采访时表示。破解难题，出路何在？

放眼全国，上海是国内集成电路产业集聚度最高、综合技术实力最强的地区之一。集成电路与生物医药、人工智能并列为上海三大先导产业，产业规模约占全国四分之一。在上海集成电路“一体两翼”产业布局中，浦东作为主体，承载全市约四分之三的产业规模。装备零部件作为集成电路制造产业重要配套，是集成电路产业链自主可控的关键环节。2023年，在集成电路相关会议上，根据上海市总体布局规划，浦东在张江、金桥地块重点布局集成电路装备、零部件产业，发挥浦东集成电路制造企业集聚优势，牵引带动装备零部件产业协同发展。

依托这一轮产业布局，金桥再度走到聚光灯下。从“909”工程至今三十余年，从芯片制造到装备、材料的脉络在此延续，金桥高端制造领域的工程师和专业人才已超11万人。金桥长期聚焦智能车、硬装备、新通信三大主导产业，制造功能完备、配套齐全。

金桥何以成为“天选之子”？用庄勇的话说，就是“天时、地利、人和”。天时，是集成电路装备及核心零部件自主发展的需求集中显现。地利，装备零部件产业与产线深度共生，装备验证、部件迭代、现场服务均离不开产线支撑；浦东集聚高密度集成电路产线，亟须打造类似专业小镇的产业集聚区，引导上下游企业向产线周边集聚，形成一体化配套供给体系。人和，是这里多年积累了大量集成电路专业人才。

2024年10月，上海市在集成电路相关调度会上明确布局装备小镇，首期约4平方公里，规划拓展约7平方公里，将建设国家级高端装备创新策源地、具有全球影响力的产业生态标杆，培育全球一流的集成电路装备及零部件企业集群。金桥装备小镇的建设，由此拉开大幕。

2026年1月14日，在“链聚浦东·芯启未来”产业生态大会上，金桥装备小镇正式揭牌。9月17日，全新品牌标识发布——一枚以“硅片向芯片层层递进”为内核的logo，把一座小镇的产业定位、历史传承与未来雄心，全部画进了方圆之间。

一枚logo能承载多少？对金桥装备小镇而言，它承载的远不止一个图形：圆的根基、方的单元、集聚的生态，是一段从“909工程”延续至今的产业记忆，更是中国半导体装备从“单点突破”走向“生态突围”的时代注脚。

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一套“2+X+3”体系，串联起一条产业链

正如小镇logo所指，当无数个“方”在金桥聚成生态，一粒硅，也能长成一片“芯”森林。经过两年建设，小镇的“芯”森林已经变得郁郁葱葱。

在产业格局上，小镇已打造出“2+X+3”产业体系：“2”即做强高端光学、先进存储两大装备产业链；“X”即聚焦先进封装、薄膜沉积、量检测等核心设备，以及光学、真空、电控、精密运动、流体等关键零部件赛道；“3”即建设供应链服务、检测验证、创新孵化三大公共服务中心。

在空间布局上，已积聚集创园、集光园、集核园三个核心专业园区，会同周边其它半导体产业载体，总建筑面积近90万平方米，形成分工清晰、互补协同的承载格局。集创园聚焦创新孵化与装备整机智造，为小镇核心产业集聚平台，配套高标准厂房、研发办公、路演中心及人才公寓，适配工业4.0高端智造需求；集光园深耕光学装备零部件赛道，专攻半导体光学元器件、精密光学配套、光电检测部件等细分领域，打造区域特色光学零部件专业集聚区；集核园主攻半导体核心精密零部件，聚焦光源、真空、电控、流体、精密运动等关键赛道，聚力推进核心零部件国产化，夯实高端半导体装备产业链配套基础。

依托三大专业园区载体优势，小镇已集聚一批半导体装备、核心零部件及产业服务领域龙头企业，形成 “链主引领、配套集聚、协同发展” 的良好产业格局。装备整机领域，华海清科、御微半导体、精智达、埃芯半导体等企业落地布局，主攻先进制程与先进封装装备研发制造；零部件与材料领域，恒运昌、神州半导体、联合光科、韶光芯材、视光微电子等企业持续补齐细分赛道配套短板；精密仪器领域，流体方向集聚高凯精密、星奇微电子，电控板块布局恒运昌、神州半导体，真空领域汇聚左麟阀门、沈科仪、Ebara，光源方向落地元创精芯、旷鹰赛、复矽源、华芯全筑，精密运动板块引入隐冠半导体，构筑起多维度、多品类的精密配套支撑体系。

龙头企业的集聚带动效应，持续提升区域产业链本土化配套水平，也带来企业快速成长。高真空阀门企业左麟阀门便是一个典型。这一市场长期由瑞士企业VAT主导。左麟阀门是一家初创企业，2024年签约落地小镇时规模尚小；依托园区内链主开放产线验证，左麟持续收获订单，随后两次扩大场地、快速壮大，年营收翻倍增长。

客户比邻而居，上下游产业链近在咫尺、联合验证便捷高效。依托集聚优势，园区形成上下游互为客户、就近协同的产业内循环生态。龙头整机与零部件企业双重扩产，推动协同从研发配套向规模化量产深化。研发阶段本地化配套优势已充分验证，核心部件就近对接，大幅压缩供应链周期、降低验证成本。随着多家整机企业产能释放，“互为客户”生态将升级为规模化商业供货，形成“整机牵引、零部件跟进、双向赋能”的良性循环。

“对企业来说，拿到订单才是最实在的。”金桥装备小镇总经理张浩说，企业挨得近、彼此能做生意，生态就活了。小镇要做的，正是产业落地的“承载地”、检测验证的“孵化器”、产业生态的“培养器”。

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生态制胜：一座装备小镇，为何能聚起一条产业链

自启动建设以来，小镇项目落地不断提速。截至目前，已经有数十家企业落地。这些入驻项目均为研产一体、实体落地企业，大多是细分赛道领军主体。

围绕企业落地与成长的需求，金桥装备小镇从平台、资本、订单、服务、人才等多个方面构建支撑体系。

平台支撑，直击半导体企业最关心的痛点，小镇重点打造数字供应链中心、维修中心、检测验证中心、创新孵化中心。在过去一年里，小镇的数字供应链中心已经成功为212家企业，累计寻源了超2万个半导体零部件料号，为这些企业的供应链安全提供了最有力的保障。针对零部件“测不了、验不过”难题，在检测验证方面也为24家企业完成了近196个项目的检测验证的对接。

资本赋能，引导耐心资本陪伴企业成长。装备零部件企业研发投入大、回报周期长，尤其需要长期资本支持。在金融支持方面，小镇拥有从种子基金、天使基金到CVC基金、S基金的完整基金矩阵，政府产业引导基金规模超1000亿元，确保“好项目永远不缺资金支持”。

订单牵引，助力企业进入龙头供应链。联合市经济信息化部门持续开展“芯链上海”供应链对接行动，组织链主企业采购和技术专家团队，与本地装备零部件企业逐一对接洽谈，推动企业进入龙头供应链。转化成效明显，效果最好的一场活动，会后追踪两个月，十多家本地企业进入链主供应商体系。

服务护航，用公共服务降低办厂门槛。园区结合5至15分钟生活圈，按照“一横三纵一环多点”布局，构建涵盖六大服务元素的三级产业服务体系，把科创会客厅、产业服务盒子、产业服务点落到企业身边。如园区集中开展重工业园区认定，解决企业用电需求等。

人才安居，让人才能就近居住、安心扎根。在人才保障上，浦东“明珠人才”政策覆盖领军型科创人才，企业研发人员可享受租房等一揽子补贴，小镇还携手国内知名高校打造产业实训基地，从源头保障人才供给。针对年轻人的社交、运动需求，园区办起“芯恋菁英”交友派对和网球、健身等运动社群，帮他们在此安家、交友、成家。

在建设者看来，配套不止于便利生活，更在于培育一个企业互为邻里、人才彼此熟悉的产业生态。聚焦产业链关键环节补链、育链、强链，推动企业、平台、科研、资本融为一体——这样的生态一旦形成，就是区域最持久的竞争力。按照预定目标，到2029年，金桥装备小镇将集聚600亿元产值、200家企业，新增5万名半导体专业人才。

在荷兰南部的费尔德霍芬，因为一家全球领先的光刻装备企业，一座小镇聚集起庞大而精密的高端装备产业，这座小镇也被业界称作“光刻小镇”。费尔德霍芬已经证明，一座小镇，足以支撑一个国家在尖端产业上的话语权。

从“909”埋下的第一颗基因，到对标世界的装备小镇，再到本届“国芯展”上惊艳亮相——三十多年间，最尖端的制造依托一个个核心零部件和完整产业生态逐步成长。金桥装备小镇的故事，才刚刚翻开序章。